In-situ patterning - selective area deposition and etching : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors, Anthony F. Bernhardt, Jerry G. Black, Robert Rosenberg.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1990 | USA, Pittsburgh, Pa | xi, 496 sidor. ill. |